プラズマの原理
半導体におけるプラズマとは
状態変化
物質には固体・液体・気体の3 つの状態があります。
固体に熱等によるエネルギーを加えると、固体→液体→気体と状態が変化します。
この変化は言い換えると、固体にエネルギーを加えることにより、物質を構成している分子が離れ、自由に動くことがで可能となります。
この自由度によって、固体→液体→気体と状態が変化していきます。
分子は気体の状態が最も自由度が高いですが、気体にさらにエネルギーを加えることによって分子の状態が変わり、プラズマへと状態が変化します。
この変化は温度にすると数千℃という、超高温に熱する必要があります。
プラズマの状態
気体中の分子は、原子核の周りを電子がくっついて動き回っている状態ですが、エネルギーが増加すると原子核と電子が離れ、電子が自由に動き回る状態となります。
プラズマは自由度の高い電子を多く含んだ状態のため、電流が極めて流れやすく、電磁場をかけるとその影響により電子の動きが大きくなる性質があります。
プラズマの利用
半導体微細加工は、プラズマ（直径0.1 nm 程度）を用いることにより超微細な加工を可能とする技術です。
プラズマ発生の方法として、誘導結合プラズマ（Inductively Coupled Plasma; ICP）の例を解説します。
チャンバー内にプラズマ発生用の気体を封入し、高周波（Radio Frequency; RF）をコイルに印加します。それによってチャンバー内に磁場が発生し、電子の運動エネルギーが増大することでプラズマが発生します。
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
