半導体製造、液晶製造に必要な、プラズマ電源や装置の開発・設計・製造

マッチャーとは

マッチャーとは

概要

半導体製造装置に効率良くRF 信号を送るための整合器。主に半導体製造工場で利用される製造装置周辺機器です。
半導体製造はSi 等の半導体を用いた μm （マイクロメートル)、nm （ナノメートル） オーダーの微細加工( エッチング) で、エッチングによって多岐にわたる最先端技術に応用が可能となります。 加工にはプラズマを用いることによって、機械的切削では不可能な分解能が実現されます。

プラズマを効率良く発生させるためには、RF 電源と半導体製造装置間のインピーダンス整合が必要となります。
整合を行わないと装置からの反射波が発生し電力の一部しか装置に供給できないため、反射波をなくすためにRF 電源と装置の間に高周波整合器を設置する必要があります。

構造

高周波整合器はエアバリコン（可変容量コンデンサ）とコイルで構成されており、エアバリコンの容量を調節することでインピーダンス整合を行います。
エアバリコンは固定された電極の表面積によって容量が変化します。
回転式の電極を用いることにより固定側の電極の表面積を変化させ、容量の値を変えることができます。