技術情報
弊社はプラズマアプリケーション、電気、機械、真空、ソフトウェアなど総合的な技術と経験を生かし、半導体・液晶製造装置向けの様々な周辺機器の開発、設計を行っております。
ここでは、プラズマに関わる基礎的な技術情報をお伝えいたします。
開発製品例の紹介
これらの技術を元に、弊社では様々な他社製品の修理・アップグレード、またOEM開発製品事例などがございます。
-
6kV高電圧電源
-
ESC用高電圧電源
-
多チャンネルRF位相コントローラ
開発製品・アップグレード例の紹介
-
ESC電源
-
P5000マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード
-
Trazar社製マッチングネットワーク 信頼性改善アップグレード
-
SSDボード ABX279,ABX348,ABX490 信頼性改善アップグレード
-
AMAT社製サーモアンプ基板 信頼性改善アップグレード
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
