製品の型番一覧
■ DC電源
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) |
MDXシリーズ：MDX-L6, MDX-L12, MDX-L12M, MDX-L12M-650, MDX-L18M MDX-HALO, MDX-10K |
ENDURA |
| Pinnacleシリーズ：Pinnacle20K, Pinnacke12K, Pinnacle10K, Pinnacle6K | ENDURA ULVAC | |
| MDLシリーズ：MDL-1501, MDL-1001 | ULVAC PVD | |
| SUMMIT DC Power Supply：3152700-203, 3152700-205 | ULVAC | |
| ANELVA | PDC-307シリーズ：PDC-157シリーズ | ANELVA |
| MKS(ENI) | DCGシリーズ：DCG100, DCG-200, DCG-400 | ENDURA他 |
| KYOSAN | HV-PS4（ESC電源） | Telius-SCCM |
■ RF電源
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) |
APEX-3013, PDX-900, RFG-2000-2V | PRODUCER |
| RFG-5500 | Concept2 SPEED、SEQUEL | |
| RFG-3000 | Concept2 / ALTUS | |
| RFG-1251 | INOVA | |
| RFG-1250, RFDS-1250, RFG-1250 Halo | TCP9400/9600, Alliance | |
| PDX-5000, PDX-8000 | Concept2, Concept3 | |
| HFV-8000 | ENDURA | |
| ATLAS 2012 | CENTURA-DPS+POLY | |
| AE(RFPP) |
LF-10A | ENDURA |
| RF-20R | CENTURA DPS | |
| RF-30S | AspenⅢ | |
| RF-10S | Aspen II | |
| RF-5S | CENTURA DPS | |
| ADTEC | AX-1000Ⅱ, AX-1000 III, AX-1000LFⅡ, AX-2000, TX10 | Eagle10, Dragon XP-8 |
| COMDEL |
CPS-1001/1001S, CDX-2000, CPS-500, CB-250, CLX-2500, CX-600 | ENDURA |
| CLX-1250, CX-1250S, CX-600AS | INOVA, ENDURA | |
| CLF-5000 | Concept2 SPEED | |
| DAIHEN |
WGA-30A, AGA-27A, AGA-50B2, WGA-50E | UNITY, TELIUS SCCM |
| MFG-20SA | TE8500 | |
| MKS(ENI) |
OEM-12A, OEM-12B, OEM-6 | P5000 CENTURA |
| NOVA50-04, GHW-50A | CENTURA HDP | |
| GHW-12Z | ENDURA | |
| GMW-25A, GMW-25, GW2502MA-F1N000-A1 | CENTURA DPS | |
| GHW-55A | TELIUS-DRM | |
| OEM-12B, OEM-12B3 | CENTURA | |
| OEM-25N, OEM-28B | Concept1 | |
| OB1, OB2 | Excellan | |
| OEM-6, PL-2HF | TE5000 | |
| OEM-10B | TE7500, Concept1 | |
| GEW-30A | UNITY-85ME | |
| NOVA50A-02 | UNITY lle855 | |
| OEM-25B-01, OEM-20B | Telius DRM | |
| DOFBC2-083 | 2300 Exelan_Flex45 | |
| SPECTRUM 10513-00, SPECTRUM 11002-00 | Ultima | |
| ULVAC | RFS-05C | RFS-05C |
| パール工業 |
LP500-800KB | M501 |
| LP150-800KB | M511 | |
| LP-2000-800K | HITACHI | |
| RP-3000-27M | UNITY IEM | |
| Seren |
HR2001-1P-2, HR2001-3P, HR2001-3P-2M, HR2501-3P, HR3001, HR3001-2M | |
| HR5001, HR5001-2M, HR10001, HR20001, HR30001 | ||
| HR601-60, HR601-LF, HR1001-LF, HR10001-LF | ||
| I2000-AC, I2000-WC, I2000-D-AC, JY2501-AC, RFS3, RFS2 | ||
| KYOSAN | RFK30Z, RFK20Z, RFK-10Z, RFK-50Z | TOK、TEL他 |
■ マッチャー
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| Advanced Energy(AE) | MFA（3155094-003） BiasMatch（3155031-037, 3155031-043, 3155031-014, 3155031-020A） AZX-Dome（1110-01043, 1110-01046, 1110-01063） SOURCE MATCH（3150595-000, 3155086-002B, 3155086-002C, 3155086-102B, 3155086-102C, 3155086-001C, 3155086-002） |
PRODUCER |
|
Applied Materials(AMAT) |
0010-20524, 0010-20525, 0010-12456, 0010-13622, 0010-13627, 0010-15877, 0010-20440, 0010-25893, 0010-02977, 0010-22161, 0010-22225, 0010-26029, 0010-30094, 0010-09750, 0010-18129, 0010-18130, 0010-36114, 0010-36408, 0010-09490, 0010-36162, 0010-09416, 0010-09417, 0010-30686, 0010-21748, 0010-52039, 0010-02372, 0010-18130, 0010-18129, 0010-52038 |
ENDURA CENTURA P5000 |
| ADTEC | AM-1000S-ASM, AMV-1000ASM5, AM-2000S-M, AMV-1000G5E, AMVG-1000-HLF-KZ3 | Eagle 10, Dragon XP-8, RAMCO |
| ASTECH | TH-30RN | E-628 |
| COMDEL | LF Fixed Match(0190-11913) | ENDURA |
| DAIHEN | RMN-50P, AMN-50B2, MFM-20SA, AMN-30F, AMN-50B, AMN-50H, WMN-50C6 | Telius SCCM, TE8500 |
| Lam Research | 853-025735R00, 853-330951-021, 853-032294-002, 853-040482-301, 853-330951R, 853-064887-402 | Alliance, EXELAN |
| MKS(ENI) | MW-10LD | TE7500 |
| MW2-30-02, MW2-30D-01 | UNITY-85ME, 88SDS | |
| MWD-25LD-02, MW-25D, MWD-25LD-04, MWD-55LD, MWD-55LD-03 | UNITY-85DD, Telius DRM | |
| NOVELLUS | 02-255013-00 | Concept2 SPEED |
| RF Service | RFS-1000 | Aspen Diode |
| Trazar |
AMU2-1 | Concept1 |
| AMU10E-1, AMU10E-2, SRN1-2 | Concept2 SPEED | |
| AMU-10D-1, AMU-10D-2, AMU10D-4 | AspenII, ASPENⅢ | |
| ULVAC | MBX-05EA5 | ZX1000 |
| パール工業 | RP-50-2M, M-20A2LS, M-30AW2VD-27 | HITACHI, UNITY-85IEM |
| Seren |
AT3, AT6, AT10, AT20, AT30 | |
| AT50-75, AT50-140, AT100-160, AT200, AT300, MC2 | ||
| ATS3, ATS6, ATS10, ATS20, ATS30, ATS50-75, ATS50-140 | ||
| ATS100-140, ATS100-160, ATS100-180, ATS100-350, ATS200, MCRS | ||
| KYOSAN |
DMK45-JA2B | Eagle12 |
| MBK10, MBK30, MBK50等 | ||
| COMET | 10007680 | Suprema |
| Mattson | RFS3019, RFS3019M | ASPENⅢ-ICP-HT Suprema |
■ 搬送ロボット関連
| メーカー | 品名 | 型名またはP/N |
|
EQUIPE TECHNOLOGIES
|
ロボット | ATM-104, ATM-105-1-CE, ATM-105-2, ATM-107 ATM-204, ATM-207 ATM-305 ATM-405, ATM-405-1-S-CE, ABM-405-1-NOZ ATM-407B |
| プリアライナー | PRE-200, PRE-201, PRE-200B-CE PRE-300-CE, PRE-300B-CE PRE-301-CE, PRE-301B-CE PRE-300U-CE |
|
| コントローラ | ESC-200, ESC-201B ESC-212-S293-CE ESC-212B, ESC-218B |
|
|
MECS |
ロボット | UTX-1000, UTX-1100, UTX-1200 UTX1100P, UTX1100PASM, UTX1200PT, UTX1200P |
| コントローラ | CS-1000 | |
| LUDL | ロボット，XY ステージ | 99A036, 99S003 |
| AMAT | P5000ブレード再生 | P5000(CVD, ETCH) |
■ RPS
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） |
| AE | 3151801-004 | CENTURA-HDP |
| MKS（ASTeX) |
AX-7657-xx | Eagle10, Eagle12, Dragon |
| AX-7670, AX-7645, FI80131, FI80132 | ALTUS, Speed, VECTOR C3 |
|
| FI20620, FI20620-1, AX-7670-xx, AX-7635-xx | AKT | |
| FI20620-1, AX-7651, AX-7670, AX-7680, AX-7685 | PRODUCER, Centura Ultima X |
■ その他機種
| メーカー | 型名またはP/N | 搭載装置（例） | 物品名 |
| AMAT | 0100-18039, 0100-18051 | CENTURA | TC FILTER BOARD |
| 0110-09291 | P-5000 DxZ OPTIMA | INTERFACE BOARD | |
| EDISON | H1061/1200 | CENTURA-DPS P5000 | MONOCHROMATOR |
| ASTeX（ETO) |
ABX-X272 | CENTURA-HDP | PS INTERFACE BOARD |
| ABX-X284 | Dragon2300 | HV CAP BANK BOARD | |
| ABX-X287 | Ultima HDP-CVD Centura | REPLACEMENT BOARD | |
| ABX-X355 | CENTURA-HDP | RF Generator Control BOARD | |
| ABX-X494 | CENTURA-HDP | HV FILTER BOARD | |
| ASTeX | SXRHC | CENTURA-HDP, CENTURA-DPS | Magnetron Head |
| ORIENTAL MOTOR | UDX5114N | Endura | MOTOR DRIVER |
P.R.A.は、「プラズマを作る周辺装置」を製作・修理する企業です。
プラズマで困ったことがあったら、まずP.R.A.にご相談ください。
